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Kompakte MiCS-MOS-Sensoren
Die kompakten MiCS-MOS-Sensoren von Amphenol SGX Sensortech sind robuste MEMS-Sensoren für raue Umgebungen in einem kleinem Footprint (5x7x1,55 mm). Diese Sensoren bieten kurze Durchlaufzeiten und eignen sich unter anderem für die Überwachung der Luftqualität, Detektion von Gasaustritt sowie Verunreinigungen. Die Silizium-Gassensorstruktur dieser MiCS-Sensoren besteht aus einer durch eine genaue Mikromaterialbearbeitung hergestellten Membran mit einem integrierten Wärmewiderstand und der darüber liegenden Sensorikschicht. Diese Luftqualitätssensoren verfügen über eine Reaktionszeit von weniger als 10 Sek. und einen Temperaturbereich von -30 ºC bis 85 ºC.